GQX系列清洗机采用RCA标准清洗工艺，适用于半导体制程产业、微机电、LED、光伏、化学品研发单位等产业的清洗。

设备形式Control mode

自动( Auto)半自动( Semi-Auto )手动(Manual)

应用工艺Application Process

抛光后、氧化前、外延前、离子注入后、光刻后等工序的清洗、去胶清洗等