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G系列制绒/刻蚀全自动硅片上下料设备

设备功能及特点：适应不同品牌的硅片制绒、刻蚀设备

正常运行时间：≥98%

可选自动称重功能

可选碎片检测功能

实现双片检测功能

根据制绒、刻蚀设备速度实现自动匹配

料方式：堆叠/花篮

最大产能：4500片/小时

碎片率：0.03%

可选装硅片隐裂检测装置

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