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石英舟上下料机

用于扩散及退火工艺石英舟的自动装卸片

产品特点

设备运行稳定可靠、程序控制精确高效；

专利吸盘无污染、无吸盘印；

可兼容菱形舟和方形舟的装卸；

可选配在线方阻检测；

可选配AGV对接、机器人上料；

可远程监控对接MES;

每个舟对应一套参数配方，兼容舟加工误差，有效降低划伤碎片率。

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