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SSX系列PECVD石墨舟上下料机

设备功能及特点

实现硅片在石墨舟和花篮之间的上下料

兼容不同厂家的管式PECVD设备

最大产能：4000片/小时

碎片率：0.08%

适用于156mmx 156mm硅片

正常运行时间：≥98%

电源：三相五线；380x(1±10%)V

可选检测功能模块

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