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PVD全自动硅片上下料机

设备用途

适用于HIT电池PVD工序自动装卸片

产品特点

适用硅片规格：156.75mm*156.75mm ～

210mm×210mm(thickness >120μm);

碎片率：<0.05%;

产能：≥4000片/小时；

硅片放置精度±0.05mm

硅片破损检测功能0.5mm×0.5mm

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